एलसीडी आरएफ प्लाज्मा उपकरण

LCD RF प्लाज्मा उपकरण LCD, OLED, र अन्य समतल प्यानल डिस्प्ले सामग्रीको सतह उपचारको लागि विकसित गरिएको उच्च-प्रदर्शन प्रणाली हो। यो आधुनिक निर्माणको कठोर मागहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हो, जहाँ स्थिर प्रशोधन र उच्च थ्रुपुट समान रूपमा महत्त्वपूर्ण छन्। समग्र प्रणाली 880mm × 790mm × 1710mm मापन गर्दछ, 450mm × 450mm × 450mm को भ्याकुम चेम्बर आकारको साथ। प्रत्येक इलेक्ट्रोड प्लेट 410mm × 430mm छ, र सब्सट्रेट को पाँच तह सम्म एक चक्र मा एक साथ प्रशोधन गर्न सकिन्छ।

 

कार्यात्मक परिप्रेक्ष्यबाट, उपकरणले प्रयोगकर्तालाई-मैत्री HMI प्रदान गर्दछ जसले मुख्य प्रक्रिया प्यारामिटरहरू जस्तै RF आउटपुट पावर, भ्याकुम पम्पिङ अवधि, व्यक्तिगत उपचार खण्डहरू, र ग्यास प्रवाह दरहरूको प्रत्यक्ष समायोजन गर्न अनुमति दिन्छ। यी सेटिङहरू विभिन्न सामग्री वा प्रक्रिया आवश्यकताहरू अनुकूलन गर्न द्रुत रूपमा परिमार्जन गर्न सकिन्छ, दुबै लचिलोपन र औद्योगिक सञ्चालनहरूको लागि स्थिरता प्रदान गर्दै।

ग्यास वितरण प्रणालीले तीन स्वतन्त्र च्यानलहरूलाई समर्थन गर्दछ र नाइट्रोजन (N₂), आर्गन (Ar), हाइड्रोजन (H₂), र अक्सिजन (O₂) ह्यान्डल गर्न सक्छ। प्रवाह मिटरहरू 0-200 ml/min दायरा भित्र क्यालिब्रेट हुन्छन्, नियन्त्रण शुद्धता 5% भन्दा कम उतार-चढाव राखेर। सबै प्रमुख वायमेटिक कम्पोनेन्टहरू SMC द्वारा आपूर्ति गरिन्छ, र चेम्बर सील टिकाऊ फ्लोरो-रबर गास्केटहरूमा निर्भर हुन्छ, जसले माग गर्ने वातावरणमा दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। प्लाज्मा 13.56 MHz मा सञ्चालन हुने स्व-अनुकूलित RF पावर सप्लाई मार्फत उत्पन्न हुन्छ, अधिकतम आउटपुट 1 kW को साथ, एकसमान उपचारको लागि भरपर्दो ऊर्जा वितरणको ग्यारेन्टी गर्दै।

संरचनात्मक रूपमा, चेम्बर उच्च-शुद्धता 304 स्टेनलेस स्टीलबाट अक्सिडेशन र जंगलाई कम गर्नको लागि निर्मित हुन्छ। प्रणालीले भ्याकुम अखण्डताका लागि दोहोरो-सील डिजाइन प्रयोग गर्दछ, जबकि चेम्बरको पछाडिको तामा इलेक्ट्रोड होल्डरहरूले धेरै स्क्रू लकहरू मार्फत तेर्सो इलेक्ट्रोड प्लेटहरू सुरक्षित गर्दछ, स्थिरता र ऊर्जा स्थानान्तरणमा सुधार गर्दछ। अतिरिक्त पक्षले इलेक्ट्रोडहरूलाई थप सुदृढ पार्ने समर्थन गर्दछ। भ्याकुम ब्यालेन्स अप्टिमाइज गरिएको छ: द्रुत-रिलिज भल्भले 5-10 सेकेन्ड भित्र दबाव बराबरी गर्न अनुमति दिन्छ, निष्क्रिय समय घटाउँछ र उत्पादकता बढाउँछ।

परिचालन सुरक्षा सुनिश्चित गर्न, मेसिन एक दोष अलार्म प्रणाली संग सुसज्जित छ। यसले कुनै पनि असामान्य घटनाको मिति, समय र कारण लगाउँछ, जबकि चेम्बर र वर्कपीस दुवैलाई सुरक्षित गर्न स्वचालित बन्दलाई ट्रिगर गरिन्छ।

अनुप्रयोगको सन्दर्भमा, यो उपकरण फ्लिप- चिप अन्डरफिल प्रक्रियाहरूको लागि व्यापक रूपमा अपनाइन्छ। अन्डरफिल गर्नु अघि प्लाज्मा सफाईले सतहको सक्रियतालाई महत्त्वपूर्ण रूपमा बढाउँछ, भिजेको क्षमतामा सुधार गर्छ, र सब्सट्रेट र इनक्याप्सुलन्ट बीचको आसंजन बढाउँछ। नतिजाको रूपमा, यसले प्याकेजिङ गुणस्तर सुधार मात्र गर्दैन तर उन्नत प्रदर्शन र अर्धचालक एसेम्बलीहरूको दीर्घकालीन विश्वसनीयतालाई पनि बढाउँछ।

हट ट्याग: एलसीडी आरएफ प्लाज्मा उपकरण, चीन एलसीडी आरएफ प्लाज्मा उपकरण निर्माता, कारखाना