प्लाज्मा क्लीनरहरूको विशेष अनुप्रयोगहरू

प्लाज्मा क्लिनिङ/एचिङ मेसिनहरूले विद्युतीय क्षेत्र सिर्जना गर्न सिल गरिएको कन्टेनरमा दुईवटा इलेक्ट्रोडहरू राखेर प्लाज्मा उत्पन्न गर्छन्। भ्याकुम पम्प निश्चित भ्याकुम स्तर कायम राख्न प्रयोग गरिन्छ। ग्यास बढ्दो रूपमा दुर्लभ हुँदै जाँदा, अणुहरू र अणुहरू वा आयनहरूको स्वतन्त्र आन्दोलन बीचको दूरी पनि बढ्छ। बिजुली क्षेत्रको प्रभाव अन्तर्गत, यी आयनहरू टकराउँछन् र प्लाज्मा बनाउँछन्। यी आयनहरू अत्यधिक प्रतिक्रियाशील हुन्छन्, लगभग सबै रासायनिक बन्धनहरू तोड्न पर्याप्त ऊर्जाको साथ, कुनै पनि खुला सतहमा रासायनिक प्रतिक्रियाहरू उत्प्रेरित गर्दछ। विभिन्न ग्यास प्लाज्मामा विभिन्न रासायनिक गुणहरू हुन्छन्। उदाहरण को लागी, अक्सिजन प्लाज्मा अत्यधिक अक्सिडाइजिंग छ, ग्यास उत्पादन गर्न फोटोरेसिस्ट लाई अक्सिडाइज गर्न सक्षम छ, यसरी सफाई प्रभाव प्राप्त गर्दछ। संक्षारक ग्यास प्लाज्मामा उत्कृष्ट एनिसोट्रोपी हुन्छ, जसले नक्काशीका आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ। प्लाज्मा उपचारले चमक उत्पन्न गर्छ, त्यसैले यसलाई ग्लो डिस्चार्ज भनिन्छ।
प्लाज्मा सफाईको संयन्त्र मुख्यतया सतहको दाग हटाउन प्लाज्मामा सक्रिय कणहरूको "सक्रियता" मा निर्भर गर्दछ। प्रतिक्रिया संयन्त्रको सन्दर्भमा, प्लाज्मा सफाईमा सामान्यतया निम्न प्रक्रिया समावेश हुन्छ: अकार्बनिक ग्याँसहरू प्लाज्मा अवस्थामा उत्तेजित हुन्छन्; ग्यासयुक्त पदार्थहरू ठोस सतहमा अवशोषित हुन्छन्; सोखिएका समूहहरूले ठोस सतहमा अणुहरूसँग प्रतिक्रिया गरेर उत्पादनका अणुहरू बनाउँछन्; उत्पादन अणुहरू ग्याँस चरणमा विघटन; र प्रतिक्रिया अवशेषहरू सतहबाट हटाइन्छ।

प्लाज्मा क्लिनिङ टेक्नोलोजीको सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण विशेषता यो हो कि यसले कुनै पनि सब्सट्रेट प्रकारको उपचार गर्न सक्छ, जसमा धातुहरू, अर्धचालकहरू, अक्साइडहरू, र धेरैजसो पोलिमर सामग्रीहरू जस्तै पोलीप्रोपाइलिन, पोलिस्टर, पोलिमाइड, पोलिभिनाइल क्लोराइड, इपोक्सी, र पोलिटेट्राफ्लुरोइथिलीन पनि समावेश छन्। यसले सम्पूर्ण सतह र विशिष्ट क्षेत्रहरू, साथै जटिल संरचनाहरू सफा गर्न सक्छ।